高周波淬火處理常見的缺陷有淬火裂痕、軟點(diǎn)及剝離三項(xiàng)。臺車爐高周波淬火最忌諱加熱不均勻而產(chǎn)生局部區(qū)域的過熱現(xiàn)象，諸如工件銳角部位、鍵槽部位、孔之周圍等均十分容易引起過熱，而導(dǎo)致淬火裂痕的發(fā)生，上述情形可藉由填充銅片加以降低淬火裂痕發(fā)生的可能性。臺車爐另外高周波淬火工件在淬火過程不均勻，會引起工件表面硬度低的缺點(diǎn)，稱之為軟點(diǎn)，此現(xiàn)象系由于高周波淬火溫度不均勻、噴水孔阻塞或孔的大小與數(shù)目不當(dāng)所致。第三種會產(chǎn)生的缺失是表面剝離現(xiàn)象，主要原因?yàn)榻孛娴挠捕茸兓看蠡蛴不瘜犹珳\，因此常用預(yù)熱的方式來加深硬化層，可有效防止剝離現(xiàn)象。
大部分的不銹鋼在固溶化處理后，井式爐若在475℃至500℃之間長時間持溫時，會產(chǎn)生硬度加大、脆性亦大增的現(xiàn)象，此稱之為475℃脆化，主要原因有多種說法，包括相分解、晶界上有含鉻碳化物的析出及Fe-Cr化合物形成等，井式爐使得常溫韌性大減，且耐蝕性亦甚差，一般不銹鋼的熱處理應(yīng)避免常時間持溫在這個溫度范圍。另外在600℃至700℃之間長時間持溫，不但質(zhì)地硬且脆，還會將鋼材內(nèi)部的鉻元素大量耗盡，使不銹鋼的耐蝕性與韌性均降低。
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